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SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過(guò)程中測(cè)量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號(hào)。

IC5 INFICON石英晶體膜厚控制儀多用途的IC/5理想地適用于控制多源、多坩堝、多材料或多過(guò)程系統(tǒng)的膜層沉積速率和膜厚。IC/5可滿足即使zui復(fù)雜、zui高要求與特殊應(yīng)用的需要。它擅長(zhǎng)于過(guò)程控制、邏輯功能、程序和膜層儲(chǔ)存容量、過(guò)程數(shù)據(jù)管理，尤其是沉積速率與膜厚的控制。